有没有可以测量晶圆厚度的纳米级精度的红外干涉测厚传感器？泓川LTS-I系列 LTS-I 系列红外干涉测厚传感器是专为半导体、先进封装及化合物半导体等高精度制造领域打造的专业测厚设备，通过 “高精度探头 + 高性能控制器” 的组合（适配 LTS-IRP-D20 测距型探头、LTS-IRP-T50 测厚型探头，搭配 LTS-IRC5400 传感器 晶圆 红外 apc 测量晶圆 2025-09-15 02:35 2